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• 액침 노광, 液浸露光, Liquid Immersion Lithography

  반도체 제조 공정에서 노광기의 스테퍼와 웨이퍼 사이에 물을 넣어 미세 회로를 구현하는 방식. 액침 노광 기술은 기존의 불화아르곤(ArF) 광원을 그대로 이용하면서도 스테퍼와 웨이퍼 사이에 있는 물이 만들어 내는 빛의 굴절을 이용해 회로의 패턴을 더욱 미세하게 할 수 있다.